P+F電容式傳感器*,倍加福電容式傳感器由上下電極、絕緣體和襯底構(gòu)成。當薄膜受壓力作用時,薄膜會發(fā)生一定的變形,因此,上下電極之間的距離發(fā)生一定的變化,從而使電容發(fā)生變化。但P+F電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關(guān)系是非線性關(guān)系,因此,要用具有補償功能的測量電路對輸出電容進行非線性補償。 P+F電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點: (1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小,輸人能量也很低。P+F電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個10-5 N),因此所需輸入能量極小,所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題,例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等,可以做得很靈敏,分辨力非常髙,能 感受0.001μm甚至更小的位移。 (2)溫度穩(wěn)定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),有利于選擇溫度系數(shù)低的材料, 又因本身發(fā)熱極小,對穩(wěn)定性影響甚微。 (3)結(jié)構(gòu)簡單,適應(yīng)性強,待測體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作。倍加福電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,可做得非常小巧,以實現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高低溫、強輻射及強 磁場等惡劣的環(huán)境中,也能對帶有磁性的工件進行測量。 (4)動態(tài)響應(yīng)好。由于極板間的靜電引力很小,可動部分做得很小很薄,因此其固有頻率很 高,動態(tài)響應(yīng)時間短,能在幾兆赫的頻率下工作,特別適合動態(tài)測量,如測量振動、瞬時壓力等。 (5)可以實現(xiàn)非接觸測量,具有平均效應(yīng)。例如非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心、小型滾珠 軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時,P+F電容式傳感器具有平均效應(yīng),可以減小工作表面粗糙 等對測量的影響。 兩點注意: 工作頻率等于或接近諧振頻率時,諧振頻率破壞了電容的正常作用。因此,工作頻率應(yīng)該先擇低于諧振頻率。 P+F電容式傳感器的有效電容除與位移有關(guān)外,還與角頻率有關(guān)。因此,在實際應(yīng)用時必須與標定的條件(ω)相同。 P+F電容式傳感器*常見的型號: RHI58N-0BAR1R61N-1000 RVI50N-09BK0A3TN-01000 RVI58N-011K1R61N-5000 RVI50N-09BK0A3TN-1000 PVM58N-011AGROBN-1213 PVM58N-011AGROBN-1213 RVI78N-10CK2A31N-0100 FHS58N-0BAK2RR4GN-0013 RVI58N-011AAR6XN-01024 RHI58N-OBAK1R61N-1024 HI58N-OBAK1R6XN-1024 RVI58N-032K1R31N-00600 RVI58N-032K1R31N-00500 RHI90N-OHAAAR61N-1024 PVS58N-011AGROBN-0013 AVM58N-011K1RHCN-1212
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